一氧化氮的熱導(dǎo)率
溫度（K） 熱導(dǎo)率（×10-4） 溫度（K） 熱導(dǎo)率（×10-4）
100 90 450 364
150 134.5 500 396
一氧化氮的溶解性
一氧化氮微溶于水,和其它一些溶劑.
一氧化氮在100毫升FeSO4溶液中的溶解度為3.4厘米3;在100毫升CS2溶液中的溶解度為3.4厘米3;在100毫升H2SO4中的溶解度為3.4厘米3;在100毫升酒精中的溶解度為26.6厘米3;在100毫升冷升(0℃)中的溶解度為7.34厘米3;在100毫升熱水(60℃)中的溶解度為2.37厘米3.
1 、可燃氣體檢測(cè)探頭選點(diǎn)應(yīng)選擇閥門、管道接口、出氣口或易泄漏處附近方圓1米的范圍內(nèi)， 盡可能靠近，但不要影響其它設(shè)備操作，同時(shí)盡量避免高溫、高濕環(huán)境。
2、 可燃?xì)怏w檢測(cè)探頭用于大面積氣體檢測(cè)時(shí)可采用10～12平方米一個(gè)探頭布置(或3-5米為半徑的圓)，也可達(dá)到檢測(cè)報(bào)警效果。
3、 可燃?xì)怏w檢測(cè)探頭安裝方式可采用房頂?shù)跹b、墻壁安裝或抱管安裝，應(yīng)確保安裝牢固可靠，同時(shí)應(yīng)考慮便于維護(hù)、標(biāo)定。
4 、可燃?xì)怏w檢測(cè)探頭安裝高度：檢測(cè)氫氣、天然i氣、城市煤氣等比重小于空氣的氣體時(shí)，采用距屋頂1米左右安裝;檢測(cè)液化石油i氣等比重大于空氣的氣體時(shí)，采用距地面1.5～2米左右(或距地30公分的高度)安裝。
5 、可燃?xì)怏w檢測(cè)探頭布線應(yīng)采用三芯屏蔽電纜，單根線徑大于1平方毫米，接線時(shí)屏蔽層必須接地 。
6、 可燃?xì)怏w檢測(cè)探頭現(xiàn)場(chǎng)走線應(yīng)穿管，所用管子應(yīng)符合消防要求，管子應(yīng)與探頭連接，要達(dá)到防爆要求。
7、 可燃?xì)怏w檢測(cè)探頭安裝時(shí)應(yīng)傳感器朝下固定。
8、 可燃?xì)怏w檢測(cè)探頭應(yīng)在斷電情況下接線，確定接線正確后通電;應(yīng)在確定現(xiàn)場(chǎng)無(wú)可燃?xì)庑孤┣闆r下，開蓋調(diào)試探頭。
9 、可燃?xì)怏w檢測(cè)探頭應(yīng)至少每年標(biāo)定一次，以確保檢測(cè)精度。
安裝時(shí)所電纜規(guī)格為：RVV3×1.0mm2 或 RVVP3×1.0mm2，為達(dá)到防爆要求請(qǐng)?jiān)诎惭b時(shí)防爆管連接之間要加防爆接線盒。
高純氣體管道配管
所有高純度、高潔凈的氣體均需通過(guò)管路輸送到設(shè)備用點(diǎn)(POU)，為了達(dá)到工藝對(duì)氣體的質(zhì)量要求，在氣體出口指標(biāo)一定的情況下，則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。除取決于制氣或凈化設(shè)備的精度外，在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響，因此，管材的選取應(yīng)恪守相關(guān)行業(yè)原則，并在圖紙中注明管道材質(zhì)。
管路的材質(zhì)則依使用的需求進(jìn)行選擇，若為制程用的反應(yīng)氣體則選擇高等級(jí)的316L EP管，經(jīng)電解拋光(Electro-Polish)處理，耐腐蝕，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)約為0.3μm以下，其值遠(yuǎn)低于經(jīng)過(guò)光輝燒結(jié)(Bright Anneal)處理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微渦流，而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體，如GN2、CDA。管內(nèi)表面粗糙度是衡量管材質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn)。粗糙度越低，其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經(jīng)特殊處理的AP管(Annealing & Picking)，則用于不做為供氣管路的雙套外管。
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